分光干涉位移型多層膜厚測量儀
SI-T 系列
產品規格 分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列
控制器
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型號 |
SI-T1000V |
SI-TA100 |
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圖像 |
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類型 |
主控制器 一體型 |
擴展控制器*4 |
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獨立型 |
SI-T1000/SI-TD500 |
SI-TA100 |
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可連接的光譜單元數 |
2 臺 |
1 臺 |
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顯示 |
最小顯示單位 |
0.001 μm |
無 |
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顯示范圍 |
±999.999 μm到 ±9999.99 mm（可選 7 種設定） |
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顯示頻率 |
10 次/ 秒 |
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端子臺 |
激光遠程聯鎖輸入 |
無電壓輸入*1 |
無*1 |
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計時 1 輸入 |
無電壓輸入2*1 |
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復位 1 輸入 |
無電壓輸入*1 |
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自動歸零 1 輸入 |
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激光控制輸入 |
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模擬輸出電壓 |
±10V ×2 輸出, 輸出阻抗100Ω*1 |
±10V ×1 輸出, 輸出阻抗100Ω*1 |
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模擬電流輸出 |
4 到20mA ×2 輸出, 最大負載阻抗 350Ω*1 |
4 到20mA ×1 輸出 , 最大負載阻抗 350Ω*1 |
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報警輸出 |
NPN 開集極輸出（N.C.）*1 |
無*1 |
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一般比較器輸出 |
NPN 開集極輸出*1 |
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擴展連接器 |
計時輸入 |
無電壓輸入2*1 |
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復位輸入 |
無電壓輸入*1 |
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自動調零輸入 |
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程序切換輸入 |
無電壓輸入 ×3 輸入*1 |
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報警輸出 |
NPN 開集極輸出（N.C.）*1 |
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判定、二進位輸出 |
二進制輸出 |
測量數據輸出（21bit） , 可選OUT |
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選通脈沖輸出 |
NPN 開集極輸出*1 |
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二進制選擇器輸出 |
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二進制選擇輸入 |
無電壓輸入*1 |
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RS-232C 接口 |
測量數據輸出和控制輸入/ 輸出 |
無 |
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USB 接口 |
兼容USB2.0 HI-SPEED（ 兼容USB1.1 Full-SPEED） |
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Ethernet 接口 |
100Base–TX/10Base–T |
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主要功能 |
測量面設定/ 測量面間計算功能、層數校驗功能、光量累計功能、偏轉自動補償功能、12OUT 同時測量功能、計算功能、平均功能、濾波功能、校正功能、測量功能、測量值警報設定功能、容差設定功能、自動調零功能、數據存儲功能、光線監控功能、8 程序存儲器功能、遮罩功能、設定支持軟件連接功能等 |
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額定 |
電源電壓 |
24VDC±10% 脈動10%（P–P）以下 |
隨主控制器提供 |
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消耗電流 |
連接1 個傳感頭時 0.6A 以下 |
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環境抗耐性 |
環境溫度 |
0 到+50°C*2 |
0 到+50°C*5 |
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相對濕度 |
35 到85%RH 無冷凝 |
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抗震性 |
10 到55Hz，XYZ 方向上0.5 mm 雙倍振幅，各2 小時*3 |
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重量 |
約600g |
約300g |
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*1 NPN 開路集電極輸出額定輸出：最大 50mA（最大 40V），殘余電壓最大 0.5V |
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傳感頭
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型號 |
SI-T10*1 |
SI-T80 |
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圖像 |
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類型 |
多層位移測量型 傳感頭 |
長距離厚度測量型 傳感頭 |
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分光單元 |
SI-T10U |
SI-T80U |
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測量范圍 (折射率n=1) |
0.01 到1.0 mm |
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參考距離 |
9 mm*2 |
80 mm*2 |
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測量用光源 |
紅外SLD , 輸出1 mW , 1 類激光產品（IEC60825-1） |
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光束直徑 |
?30 μm*3 |
φ25 μm*3 |
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線性度 |
±0.3 μm*4 |
±0.3 μm*7 |
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分辨率 |
0.01 μm (0.25 μm)*5*6 |
0.01 μm*6 |
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采樣周期 |
1 ms |
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LED顯示 |
目標靠近測量中心：綠光。目標在測量范圍內：橙光。目標在測量范圍外：橙光閃爍。 |
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環境抗耐性 |
外殼防護級 |
IP64 |
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環境光照 |
白熾燈、熒光燈:10000 lux 以下 |
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環境溫度 |
0 到+40°C |
0 到+50°C |
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相對濕度 |
35 到85%RH（無冷凝） |
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抗震性 |
10 到55Hz，XYZ 方向上1.5 mm |
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材料 |
SUS304 |
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重量 |
約 70g （含連接線） |
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*1 傳感頭和分光單元已經配套調整完畢。無兼容性。 |
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專用 PC 軟件
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型號 |
SI-H1T*1 |
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圖像 |
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類型 |
PC軟件 |
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支持 OS |
Windows 11 Pro /Windows 10*2/Windows 7（ SP1 以后）*3/Windows Vista（ SP2 以后）*4/Windows XP（ SP3 以后）*5 |
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CPU |
Pentium Ⅲ 1GHz 以上（建議使用1.7GHz 以上） |
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存儲器容量 |
256MB 以上（建議使用1GB 以上） |
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硬盤可用空間 |
1GB 以上 |
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顯示器 |
1024x768 像素、24bit 真彩色以上 |
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PC接口 |
配置有以下任意一種接口： |
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*1 用戶使用的OS應在建議運行環境以上版本的環境中使用。 |
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