導入案例 客戶之聲 <厚度篇>
案例 1: 玻璃的厚度測量
行業種類 | 半導體和液晶行業 |
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用途名稱 | 玻璃的厚度測量 |
采用機型 | LK-G5000系列 |
使用A公司的激光移位計測量了玻璃的厚度。有時圖案面會產生追蹤誤差,難以改善檢查效率。
通過采用基恩士的激光移位計LK系列,可消除圖案面的追蹤誤差,并改善檢查效率。
歡迎采用本設備。
因玻璃面與圖案面的反射率之差導致圖案面的追蹤誤差。為了在各個面上呈現理想的反射光量,可通過激光移位計LK系列高速控制發射時間和發射功率,無限降低追蹤誤差的影響。
案例 2: 多層薄膜的膜厚測量
行業種類 | 電子和電機行業 |
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用途名稱 | 多層薄膜的膜厚測量 |
采用機型 | SI-T系列 |
通過X線式的膜厚計測量了透明多層薄膜的膜厚。測量點較大,無法管理細微厚度的偏差。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計,可測量細微的薄膜厚度,并活用于吐出流量、壓力及傳輸速度的理想控制。
歡迎采用本設備
分光干涉式激光位移計SI系列可通過30 μm的小光點來測量厚度,因此能準確測量至邊緣部??捎糜跈z測纏繞不良和預防扎帶現象。
案例 3: 晶圓的厚度測量
行業種類 | 半導體和液晶行業 |
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用途名稱 | 晶圓的厚度測量 |
采用機型 | SI-R系列 |
通過接觸式測量儀管理了晶圓的厚度。存在測量時切開晶圓導致劃傷的課題,因此研究使用非接觸測量儀。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計SI-R系列,無需擔心劃傷晶圓。頭部較小,可安裝于裝置內,從而能始終監視晶圓的厚度。
歡迎采用本設備。
分光干涉式激光位移計SI-R系列采用了可透過Si及GaAs、SiC、InP、a-Si等半導體的近紅外SLD。因此,即使貼有BG膠帶,仍可準確測量晶圓的厚度。
案例 4: 面條的厚度測量
行業種類 | 食品行業 |
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用途名稱 | 面條的厚度測量 |
采用機型 | LK-G5000系列 |
使用千分尺抽檢了面條的厚度。由于面條柔軟,受到接觸壓力的影響,會存在因人而異的測量結果偏差。
通過采用基恩士的激光移位計LK系列,實現了在線管理厚度。當然,由于為非接觸式測量,也可解決因人而異的偏差問題。
歡迎采用本設備。
面條的厚度測量是采用實績較多的一種用途。由于面條的制造工序處于面粉彌漫的環境,因此穩定測量值非常重要。
激光移位計LK系列配備了能消除突發性值的中值濾波器,可不受面粉的影響進行穩定測量。
案例 5: 橡膠薄板的厚度測量
行業種類 | 樹脂和橡膠行業 |
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用途名稱 | 橡膠薄板的厚度測量 |
采用機型 | LK-G5000系列 |
使用A公司的激光移位計在線測量了橡膠薄板的厚度。
由于不支持產品公差的嚴格要求,因此嘗試了基恩士的激光移位計LK系列。也可通過LK系列解決因表面粗糙度影響所產生的測量值偏差。由于測試結果良好,因此決定購買。
歡迎采用本設備。
激光移位計LK系列擁有392 kHz超快采樣速度的特點。通過平均處理高速采樣所獲得的大量數據,即使在線測量仍可穩定測量厚度。
案例 6: 馬達機芯的迭片厚度測量
行業種類 | 運輸和金屬行業 |
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用途名稱 | 馬達機芯的迭片厚度測量 |
采用機型 | LK-G5000系列 |
馬達機芯迭片的性能隨迭片數量而異,因此要目視檢查安裝的迭片是否為規定數量。
使用基恩士的激光移位計LK系列能在線測量厚度,可自動進行抽檢。
歡迎采用本設備。
若要通過厚度測量判斷迭片數量是否在規定范圍內,則要求精確到微米級的測量精度。激光移位計LK系列采用了能大幅控制表面粗糙度影響的光學設計,并配備了專用部件,可在線高精度測量各種目標物。
案例 7: 玻璃面板的密封材料厚度測量
行業種類 | 運輸和金屬行業 |
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用途名稱 | 玻璃面板的密封材料厚度測量 |
采用機型 | LJ-V系列 |
使用相機檢查了玻璃面板的密封材料。雖然目前可以檢查涂層破損,但還需要檢查密封材料的傾斜,因此導入了基恩士的2D激光移位計LJ系列。將傳感頭固定在膠槍上,不僅可測量涂層破損,還可測量厚度、寬度及截面面積等。
歡迎采用本設備。
2D激光移位計LK系列的特點是具備超快的采樣速度。即使在高速控制膠槍的情況下,仍可進行窄小間距的測量,因此能防止密封不良。